5月20日，A股三大指数涨跌不一，科创50指数大涨超3%。从板块来看，半导体产业设备延续强势，Wind数据显示，半导体产业设备指数大涨5.72%，位列A股行业板块涨幅榜第一。

个股方面，金海通强势涨停，中科飞测、拓荆科技、强一股份、华峰测控等多股涨超10%，恒运昌、长川科技、华海清科、富创精密等个股跟涨。

中信建投证券认为，半导体设备零部件板块正处于双重自主可控趋势叠加的背景下：一方面AI驱动下游扩产景气周期开启，中国大陆半导体设备整机端要求自主可控，在设备端国产化率提升背景下，零部件市场整体空间打开；另一方面，关键零部件整体国产化率偏低，高端产品国产替代尚处于早期。

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