5月20日收盘，A股三大指数涨跌不一，上证指数下跌0.18%，报4162.18点，深证成指较前日不变，报15569.98点，创业板指上涨0.34%，报3921.79点。两市成交额为2.95万亿元。

板块方面，光刻机概念涨幅居前，成分股中，同飞股份上涨12.76%，中船特气上涨12.25%，晶方科技上涨10.01%，张江高科上涨10.01%，沃格光电上涨9.94%。
存储芯片概念表现强势，成分股中，联芸科技上涨20.01%，华虹公司上涨18.74%，中科飞测上涨17.43%，拓荆科技上涨14.41%，概伦电子上涨12.88%。
光刻胶概念持续活跃，成分股中，理奇智能上涨13.09%，锦华新材上涨11.12%，国风新材上涨10.03%，盛剑科技上涨10.02%，晶方科技上涨10.01%。
PVDF概念走强，成分股中，多氟多上涨10%，盛景微上涨10%，华谊集团上涨5.71%，永和股份上涨4.88%，昊华科技上涨3.33%。

下跌方面，Web3.0概念走弱，成分股中，衢州发展下跌10.1%，思特奇下跌7.58%，南威软件下跌6.66%，顺网科技下跌5.24%，东方国信下跌5.08%。
AI视频概念调整，成分股中，流金科技下跌6.61%，吉视传媒下跌5.41%，竞业达下跌5.37%，群兴玩具下跌5.16%，易点天下下跌4.84%。

截至收盘，A股全市场共计1638只个股上涨，3804只个股下跌。

个股成交额方面，中芯国际以289.97亿元居首，上涨12.62%，兆易创新、寒武纪与中际旭创成交额靠前。