在前两期大基金的投资扶持下，我国完整半导体产业链的雏形已现，但在光刻机、量/检测设备、涂胶显影设备、离子注入设备等部分环节国产创新仍然较低。随着大基金三期的设立并且金额创新高，无疑有助于我国半导体企业
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